Vertical Focus Probing

Vertical Focus Probing je princíp optického merania, ktorý využíva reflexné vlastnosti povrchu. V závislosti na topografii objektu sa svetlo objektívu odráža a rozptyľuje do niekoľkých smerov, akonáhle dopadne na povrch. V prípade ideálnej lambertiánskej odrazivosti sa svetlo odráža rovnako silne do každého smeru, zatiaľ čo v zrkadlových odrazoch je svetlo rozptýlené hlavne do jedného smeru. Typické povrchy majú difúzne aj zrkadlové reflexné vlastnosti.

Meracie prístroje založené na Focus-Variation nie sú obmedzené na konkrétny osvetľovací systém. V závislosti od typu a polohy osvetlenia, geometrie vzorky a vlastností drsnosti povrchov sa časť svetla vždy odráža a zasiahne objektív, aj keď je meraným povrchom hrana alebo otvor, a teda orientácia povrchu je rovnobežná s optickou osou. Odrazené svetelné lúče sú zoskupené v optike a zhromažďované senzorom citlivým na svetlo.

Princíp merania je znázornený na obrázku - vľavo pre zvislú stenu s uhlom sklonu 90 ° a vpravo pre stenu s uhlom sklonu > 90 °. Pomocou štandardnej variácie zaostrenia sa pre každú bočnú polohu xy určí jedna zvislá poloha z. Naproti tomu Vertical Focus Probing určuje 3D reprezentáciu dát, kde každá poloha xy môže mať mnoho vertikálnych pozícií z. Preto je možné merať zvislé geometrie, ako sú strmé boky alebo otvory.